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ASAPの設備
リフトオフ装置
DIP槽を持たないコンパクトな筐体<br/>再付着の無い完全枚葉スピン処理<br/>膨潤処理が必要なく短時間で処理可能<br/>厚膜メタル・微細パターンにも対応可能<br/>ドライエッチング後のレジス......
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コーター/デベロッパー
<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 1.5em; font-size: 1rem; line-height: 1.6; letter-spacing: 0.02em; color: rgb(0, 0, 0); font-family: "ヒラギノ角ゴ Pro W3", "Hiragino Kaku Gothic Pro", メイリオ, Meiryo, "MS Pゴシック", "MS PGothic", sans-serif; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);"><span style="font-size: 16px;">レジスト、ポリイミド、ドーパントをC to Cのフルオートで塗布/ベーキング<br/>ウエハサイズに合わせたコンパクトな筐体</span></p><span style="font-size: 16px;">複数サイズのウエハを段取り替えなく処理可能<br/>低粘</span>......
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マスクアライナー
<p style="margin-top: 0px; margin-bottom: 1.5em; font-size: 1rem; line-height: 1.6; letter-spacing: 0.02em; color: rgb(0, 0, 0); font-family: "ヒラギノ角ゴ Pro W3", "Hiragino Kaku Gothic Pro", メイリオ, Meiryo, "MS Pゴシック", "MS PGothic", sans-serif; white-space: normal; background-color: rgb(255, 255, 255);">C to C のオート一括等倍露光マスクアライメント装置です。</p><p>マスクと完全非接触でギャップ管理を行います。<br/>もちろんソフト、ハードコンタクトにも対応!<br/>低価格、コン......</p>
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