抗蚀剂、聚酰亚胺和掺杂剂的全自动 C 到 C 应用 / 烘烤
与晶圆尺寸相匹配的紧凑型外壳

无需更改设置即可处理多种尺寸的晶圆。

从低粘度到高粘度的丰富支持。

支持200μm以上翘曲的输送系统

COO减少和定制支持通过各种选项菜单实现。

高规格

高规格处理量：1000张/天以上
设备尺寸：大型
机器人：2台或自走式

标准

标准处理量：500张/天以上

设备尺寸：中型
机器人：1台

研发

研发处理量：100张/天或更多

设备尺寸：小型
机器人：无