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全自动高刚性双轴研磨机 ：HRG200X
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全自动高刚性双轴研磨机 ：HRG200X



HRG200X是全自动高刚性双轴研磨机。可实现在短时间之内的无损加工。实现了低成本、高精度、镜面加工。

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商品描述


HRG200X是全自动高刚性双轴研磨机。可实现在短时间之内的无损加工。实现了低成本、高精度、镜面加工。

特征


规格

No类别HRG200X
全自动高刚性双轴研磨机
1设备尺寸和重量尺寸: 1540(W) x 2050(D) x 2010(H) mm
重量 : 4500 kg
4最大晶圆尺寸(mm)200
5磨轮直径(mm)250
6主轴转速(rpm)Max.   3,600
7工作台转速(rpm)Max.   800
8主轴功率(kW)6.3
9单片总厚度偏差   : TTV(μm)1
10片与片厚度偏差   : WTW(μm)±1


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